ISO 5302-2003 真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
作者:标准资料网
时间:2024-05-18 23:01:10
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【英文标准名称】:Vacuumtechnology-Turbomolecularpumps-Measurementofperformancecharacteristics
【原文标准名称】:真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
【标准号】:ISO5302-2003
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2003-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC112
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:流量率;定义;真空工程;真空泵;涡轮分子泵;泵;测量;特性;抽吸速度;效率;试验;流量测量
【英文主题词】:Definitions;Efficiency;Flowmeasurements;Flowrates;Measurement;Properties;Pumps;Suctionspeeds;Testing;Turbo-molecularpumps;Vacuumengineering;Vacuumpumps
【摘要】:本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法,它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括:a)带机械或磁轴承的;b)带或不带附加牵引级的。注:由于涡轮分子泵需要前级泵支持,下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充,以完全确定其性能:一流量曲线;一——压缩比曲线;人口压力变化曲线。包括全部有关区域和各种气体。
【中国标准分类号】:J78
【国际标准分类号】:23_160
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
【标准号】:ISO5302-2003
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2003-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC112
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:流量率;定义;真空工程;真空泵;涡轮分子泵;泵;测量;特性;抽吸速度;效率;试验;流量测量
【英文主题词】:Definitions;Efficiency;Flowmeasurements;Flowrates;Measurement;Properties;Pumps;Suctionspeeds;Testing;Turbo-molecularpumps;Vacuumengineering;Vacuumpumps
【摘要】:本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法,它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括:a)带机械或磁轴承的;b)带或不带附加牵引级的。注:由于涡轮分子泵需要前级泵支持,下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充,以完全确定其性能:一流量曲线;一——压缩比曲线;人口压力变化曲线。包括全部有关区域和各种气体。
【中国标准分类号】:J78
【国际标准分类号】:23_160
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语
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